Виробник: Інший виробник
Тематика: Інженерія
Автор: Ст. Н.Черняєв. Розглянуто фізико-технологічні основи процесів виготовлення інтегральних мікросхем і формування складних плівкових структур елементів інтегральних мікроелектронних пристроїв. Описано перспективні технологічні методи виробництва інтегральних напівпровідникових та гібридних мікросхем і мікропроцесорів, а також використовується технологічне обладнання. Формат книги---145х210 Обсяг книги----460стр. "Радіо і зв'язок", 1987 р.