Моделирование элементов и технологических процессов.

Виробник: Інший виробник Тематика: Інженерія Авторы: П.Антонетти и др. Книга представляет собой сборник лекций, прочитанных известными специалистами по математическому моделированию технологических процессов изготовления интегральных схем(ИС) и электрических характеристик их основных элементов - МОП-транзисторов. Рассмотрены модели диффузии, ионной имплантации, окисления, отжига, литографии, осаждения, травления и модели, описывающие функционирование МОП- транзисторов. Подробно рассмотрены области применимости этих моделей для анализа работы приборов в различных режимах. Наведені основні алгоритми, які використовуються при моделюванні технологічних процесів і приладів на основі МДН-транзисторів. Формат книги----145х210 Обсяг книги---500стр "Радіо і зв'язок",1988 р.